source gazeuse de silicium
- source gazeuse de silicium
- dujinis silicio šaltinis
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. silicon source gas
vok. gasförmige Siliziumquelle, f
rus. газообразный источник кремния, m
pranc. source gazeuse de silicium, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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